委婉拒绝面试可以通过以下步骤进行：
及时通知：
尽早告知招聘方你无法参加面试，以便他们有时间寻找其他候选人。
表达感谢：
对面试机会表示感谢，显示出对对方的尊重和感激。
提供具体理由：
给出一个合理的理由，说明你不能参加面试。理由可以是其他工作机会、个人事务或其他紧急情况。
表达歉意：
向招聘方表示抱歉，因为你不能接受面试邀请。
提出建议：
如果可能，提供一些建议或替代方案，帮助招聘方找到其他合适的候选人。
保持良好沟通：
在拒绝的过程中，保持诚恳和礼貌的沟通，并尽可能保持未来合作的可能性。
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主题：关于面试邀请的回复
尊敬的[面试官姓名]，
您好!
首先，非常感谢您为我提供这次面试的机会。经过深思熟虑，我不得不遗憾地通知您，由于[具体理由，如已有其他工作机会、家庭原因等]，我无法参加原定的面试。
我理解这可能会给您的招聘工作带来不便，为此我提前向您表示诚挚的歉意。同时，我也希望未来有机会与您和贵公司合作。
再次感谢您的理解和支持。
祝工作顺利!
此致
敬礼
[您的姓名]
[您的联系方式]
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请根据实际情况调整邮件内容，确保信息的准确性和礼貌性。