刺史制度始于西汉时期，由汉武帝在元封五年（前106年）设立。当时，为了加强中央集权，避免郡县官员腐败，全国被划分为十三个州，每个州设置一名刺史，主要负责监察地方官员。刺史的秩位较低，相当于现在的省纪委书记，并且最初没有固定治所，属于中央官员，不定期对辖区进行监察。
刺史制度在汉初得到发展，并在中后期进一步得到强化，对维护皇权、澄清吏治起到了积极作用。汉成帝时期，刺史改称州牧，职权得到扩大，由监察官变为地方军事行政长官。到了东汉时期，刺史的权力进一步增大，有时甚至率领郡县兵镇压反抗活动。
需要注意的是，刺史制度在形成和演变过程中逐渐地方官化，到了东汉晚期，刺史的监察作用逐渐消失，形成为凌驾于守、相之上的地方行政长官。此后，刺史制度在历代王朝中有所沿袭和变化，但到了元代以后，刺史这一职位便未再设置