无尘室,也称为洁净室或清净室,是一种特殊设计的房间,其核心功能是控制空气中的微粒和污染物,如微尘粒、有害空气、细菌等,并将室内的温度、洁净度、压力、气流速度与分布、噪音振动及照明、静电等环境因素控制在预定的范围内。这种环境对于确保高科技产品生产过程中的高质量和高精度至关重要,尤其是对于那些对产品洁净度要求极高的行业,如半导体制造、精密仪器生产、生化技术和生物技术等。
无尘室根据洁净度等级通常分为不同的级别,如十万级、万级、千级、百级等,其中级别越高,表示该无尘室的洁净程度越高,能够容纳的生产活动也就越精密和复杂。例如,在晶圆制造过程中,由于工艺精度需达到纳米级别,因此必须在百级甚至更高等级的洁净室内进行生产操作。
无尘室的设计和建设需要考虑到维持恒定的环境条件,确保不论外部环境如何变化,室内都能保持设定的洁净度、温湿度及压力等性能要求。这种高度控制的室内环境对于保护敏感产品和过程免受污染,确保产品质量和生产效率至关重要